背景：

MEMS傳感器是基于微機(jī)電系統(tǒng)的典型傳感器產(chǎn)品。它是指可以批量制造的、集微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路于一體的器件或系統(tǒng)。其特征尺寸相對于傳統(tǒng)傳感器而言更加小巧，一般在0.1μm～100μm范圍。

MEMS傳感器的制作，都涉及到電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)等當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的許多尖端成果，它將感知信息處理與執(zhí)行機(jī)構(gòu)相結(jié)合，改變了人類感知和控制外部世界的方式，具有廣闊的應(yīng)用前景。?

MEMS傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，對各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動(dòng)作用，由最早的工業(yè)、軍用航空應(yīng)用走向普通的民用和消費(fèi)市場。MEMS傳感器廣泛應(yīng)用于社會(huì)、發(fā)展及人類生活都的各個(gè)領(lǐng)域，如工業(yè)自動(dòng)化、農(nóng)業(yè)現(xiàn)代比、航天技術(shù)、資源開發(fā)、海洋探測、環(huán)境監(jiān)測、交通運(yùn)輸?shù)取?/p>

與傳統(tǒng)的傳感器相比，MEMS傳感器體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，其微米量級(jí)的特征尺寸，使得它可以更方便地集成到其他設(shè)備上，從而完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。?

產(chǎn)品概述：

MEMS氣體傳感器是利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板，所用氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中被檢測氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。在這種情況下，只需使用較為簡單的電路，即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏鞯淖兓?，進(jìn)而生成與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號(hào)。?

產(chǎn)品亮點(diǎn)：

1. 微型化設(shè)計(jì)。產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)速度更快，同時(shí)，MEMS傳感器表面體積比高的特性，也意味著傳感器的敏感程度更高。?

2. 高度集成。不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器和執(zhí)行器，可以被集成于一體，形成高效、多功能的微傳感器陣列或微執(zhí)行器陣列，在小體積狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)更多功能。?

3. 高溫、低溫環(huán)境下工作適應(yīng)性良好。產(chǎn)品功耗較低，工作過程中基本不產(chǎn)生熱輻射，不會(huì)令周圍環(huán)境產(chǎn)生明顯的溫度濕度變化，不影響相關(guān)監(jiān)測過程的進(jìn)行。?

4. 抗震性好。MEMS傳感器體積小、重量輕，處于震顫狀態(tài)下時(shí)不易發(fā)生形變或移位現(xiàn)象，可保持檢測性能處在正常狀態(tài)下。

5. 使用壽命長。?